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[00223206]一種銅銦鎵硒(硫)薄膜的硒化硫化裝置及方法

交易價格: 面議

所屬行業: 化工生產

類型: 發明專利

技術成熟度: 正在研發

專利所屬地:中國

專利號:CN201510508328.9

交易方式: 技術轉讓 技術轉讓 技術入股

聯系人: 中山大學

進入空間

所在地:廣東廣州市

服務承諾
產權明晰
資料保密
對所交付的所有資料進行保密
如實描述
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技術詳細介紹

摘要:本發明公開了一種于銅銦鎵硒(硫)薄膜的硒化硫化裝置,包括石英管、設置在石英管內的反應單元、設置在所述石英管外的加熱結構、用于密封所述石英管的管口密封部;所述石英管上設置有與真空泵組連接的連接組件;所述反應單元包括坩堝,所述坩堝上設置有容納腔、用于密封所述坩堝的密封結構;所述坩堝包括底壁和與底壁形成上方設有開口的容納腔的側壁;所述坩堝上設置有用于將所述容納腔分隔成若干反應腔的分隔壁,所述分隔壁上設置有若干連接相鄰反應腔的連通槽,所述連通槽設置在所述底壁的上方。本發明結構簡單,操作方便,安全性高,密封性好,蒸汽壓穩定,反應均勻,保證了處理后薄膜表面的粗糙度,提升產品質量。
摘要:本發明公開了一種于銅銦鎵硒(硫)薄膜的硒化硫化裝置,包括石英管、設置在石英管內的反應單元、設置在所述石英管外的加熱結構、用于密封所述石英管的管口密封部;所述石英管上設置有與真空泵組連接的連接組件;所述反應單元包括坩堝,所述坩堝上設置有容納腔、用于密封所述坩堝的密封結構;所述坩堝包括底壁和與底壁形成上方設有開口的容納腔的側壁;所述坩堝上設置有用于將所述容納腔分隔成若干反應腔的分隔壁,所述分隔壁上設置有若干連接相鄰反應腔的連通槽,所述連通槽設置在所述底壁的上方。本發明結構簡單,操作方便,安全性高,密封性好,蒸汽壓穩定,反應均勻,保證了處理后薄膜表面的粗糙度,提升產品質量。

推薦服務:

主辦單位:南平市科學技術局

技術支持:廈門科易網科技有限公司

 

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